紅外光學(xué)溫度計
紅外光學(xué)溫度計
紅外光學(xué)溫度計是一種測量光并通過校準(zhǔn)以指示溫度的設(shè)備。紅外光學(xué)溫度計檢測來自熱物體的輻射通量，并利用普朗克黑體輻射方程算法來計算物體的表面溫度。所用的算法是基于普朗克黑體輻射方程。
紅外光學(xué)溫度計通過測量物體輻射的紅外能量來計算物體的表面溫度。半導(dǎo)體行業(yè)的紅外溫度計主要應(yīng)用于晶體生長階段，分為Si探測器、銦鎵砷探測器以及熱電堆探測器三種。從測溫原理上分為比色和單色，從光通形式分為透鏡型及光導(dǎo)型。
和其光電HQ-RTS系列紅外溫度計可應(yīng)用于MOCVD、氧化擴(kuò)散爐、PVD、CVD、ALD等半導(dǎo)體設(shè)備，具有高精準(zhǔn)度、高重復(fù)性、高可靠性、可定制、技術(shù)支持快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢。
紅外光學(xué)溫度計通過測量物體輻射的紅外能量來計算物體的表面溫度。半導(dǎo)體行業(yè)的紅外溫度計主要應(yīng)用于晶體生長階段，分為Si探測器、銦鎵砷探測器以及熱電堆探測器三種。從測溫原理上分為比色和單色，從光通形式分為透鏡型及光導(dǎo)型。
和其光電HQ-RTS系列紅外溫度計可應(yīng)用于MOCVD、氧化擴(kuò)散爐、PVD、CVD、ALD等半導(dǎo)體設(shè)備，具有高精準(zhǔn)度、高重復(fù)性、高可靠性、可定制、技術(shù)支持快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢。
1、全部件國產(chǎn)化，無供應(yīng)鏈卡脖子風(fēng)險。
2、技術(shù)指標(biāo)可溝通定制，側(cè)重點關(guān)注區(qū)域：
A.光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)實際視場條件設(shè)計，同等條件下能量利用率更高，信噪比更高，精度更高；
B.電路指標(biāo)根據(jù)重點關(guān)注溫度區(qū)段定制化設(shè)計，將對應(yīng)區(qū)段信號特殊處理，局部區(qū)域噪音更低、倍率更高，獲得更高信號穩(wěn)定性、精度、分辨率；
C.機(jī)械變焦范圍根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計，滿足設(shè)計指標(biāo)的前提下機(jī)身瘦身，更小的空間內(nèi)實現(xiàn)更多功能；
D.瞄準(zhǔn)方式如目視光路、激光瞄準(zhǔn)、ccd圖像監(jiān)視等可根據(jù)需求定制；
E.通信方式支持EtherCat EtherNet等工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)接口。
3、技術(shù)支持、溝通響應(yīng)速度高。
4、安裝、使用操作等可提供專業(yè)技術(shù)人員現(xiàn)場操作、培訓(xùn)。
