紅外光學溫度計
紅外光學溫度計是一種測量光并通過校準以指示溫度的設備。紅外光學溫度計檢測來自熱物體的輻射通量，并利用普朗克黑體輻射方程算法來計算物體的表面溫度。所用的算法是基于普朗克黑體輻射方程。
紅外光學溫度計通過測量物體輻射的紅外能量來計算物體的表面溫度。半導體行業的紅外溫度計主要應用于晶體生長階段，分為Si探測器、銦鎵砷探測器以及熱電堆探測器三種。從測溫原理上分為比色和單色，從光通形式分為透鏡型及光導型。
和其光電HQ-RTS系列紅外溫度計可應用于MOCVD、氧化擴散爐、PVD、CVD、ALD等半導體設備，具有高精準度、高重復性、高可靠性、可定制、技術支持快速響應等諸多優勢。
